SF係列電子束蒸發光(guāng)學真空鍍膜機

日期:2016-01-13 10:14:16 人氣:25322
SF係列電子束蒸發光學真空鍍膜機(jī)

工作原理

電子束蒸(zhēng)發是將膜(mó)材放入水冷銅坩堝(guō)中,直接利用電子束(shù)加熱,使膜材中的原子(zǐ)或分子從表麵汽化逸出後入射到(dào)基片(piàn)表麵凝結成膜。電子束蒸發比一般電(diàn)阻加熱蒸發熱(rè)效率高、束流密度大、蒸發速度快,製成的薄膜純度高。

應(yīng)用範(fàn)圍(wéi)

光學鍍膜設備可鍍製層數較多(duō)的短波通、長波通、增透膜、反射膜、濾光膜、分光膜、帶通膜、介質膜、高反膜、彩色反射膜等各種膜係,能(néng)夠實現0-50層膜的膜係鍍膜,也能滿(mǎn)足(zú)如汽車反光玻(bō)璃(lí)、、眼鏡片、光學鏡頭、冷光杯等產品的鍍膜要求。配置不同的蒸發源、電子槍和離子源及(jí)膜厚儀可鍍多種膜係,對金屬、氧化物、化(huà)合物及其他高熔點膜材(cái)皆可蒸鍍

產品特點

1)  光學鍍膜配備有石英晶體(tǐ)膜厚(hòu)儀,采用PLC與(yǔ)觸摸屏係統聯合實現對整個工作過(guò)程的自動控製,工作效率(lǜ)和產品質量重複性一致性優良.
2)適用於光學領域行業,大規模工業生產要求的廠商使用。

技術參數表

SF係列電子束(shù)蒸發光學真空鍍膜機    
型(xíng)號SF-800SF-1200SF-1400SF-1600SFW-1000SFW-1200SFW-1600
真空室(shì)尺寸 Φ800×1000MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1600×1800MMΦ1000×1100MMΦ1200×1400MMΦ1600×1800MM
真空機組KT500擴散泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組KT500擴散泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴(kuò)散泵機組
鍍膜係統電子槍蒸發(fā)源、鍍膜輔(fǔ)助離子專用電源或霍爾離子源
充氣係統壓(yā)強控製儀
控製方式手動或半自動
膜厚監控係統石英晶體膜厚監控係統
抽氣速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極限真空3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa
備注(zhù)以上設備參數僅做參考,具體均按客戶實際工藝要求設計訂做
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