工作原(yuán)理
應用範圍
產品特點
技術參數表
ZF係列(liè)電阻蒸發真(zhēn)空鍍膜機 | |||||||
型號 | ZF-600 | ZF-1200 | ZF-1400 | ZF-1600 | ZF-1800 | ZF-2000 | ZF-2200 |
真空室尺寸(cùn) | Φ600×800MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1600×1800MM | Φ1800×2000MM | Φ2000×2200MM | Φ2200×2400MM |
真空(kōng)機(jī)組 | KT500擴散泵機組 | KT6300擴(kuò)散(sàn)泵機組(zǔ) | 雙KT630擴散泵機組(zǔ) | 雙KT630擴散泵(bèng)機組 | 雙KT800擴散泵機(jī)組 | 雙KT1000擴散泵機組 | 雙KT1000擴散泵機組 |
鍍膜係統 | 電阻蒸發專用變壓(yā)器、鍍膜輔助離子專用電源(yuán) | ||||||
充氣係統 | 質量流量計 | ||||||
控製方式 | 手(shǒu)動(dòng)或全自動 | ||||||
抽(chōu)氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空 | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa |
備注 | 以上設備(bèi)參數僅做參考,具體均按客戶實際工藝要求設計訂做,可選擇保護(hù)膜鍍膜功能 |