CJ係(xì)列磁控濺射真空(kōng)鍍(dù)膜機
日期:2016-01-16 13:28:37 人氣:83807
CJ係列磁控濺射真空鍍(dù)膜機的磁控(kòng)濺射工(gōng)作原理,所謂“濺射”就是用荷能粒子(通常用氣體正離子)轟擊物體,從而(ér)引起物體表麵原子從母體中逸出的現象。早在1842年Grove在實(shí)驗室中就發現了這種現象。磁控濺(jiàn)射靶采用靜止電磁場,磁場為曲線形,均勻電場和對數電場則分別用於(yú)平(píng)麵靶和同軸圓柱靶。電子在電場作用下,加速飛(fēi)向基片的過程中與(yǔ)氬原子(zǐ)發生碰撞。若電子具有足夠的能量(約為30ev)時,則電離出Ar+並產生電子,電子飛向基片,Ar+在電場作用下,加速(sù)飛向(xiàng)陰極(濺射靶(bǎ))並以高能量轟擊靶表麵,使靶材發(fā)生濺射。
廣泛應用於家電電器、鍾表、高爾夫球頭、工藝美術品、玩具、車燈反光罩、手機(jī)按鍵外殼以及儀(yí)器儀表、塑料、玻(bō)璃、陶(táo)瓷、磁磚等表麵裝(zhuāng)飾性鍍膜及工模具(jù)的功能塗層,在鍍製超黑膜、純金裝飾膜、導電膜等領域有優勢。
1)、膜厚可控性和重複性好。能夠可靠的鍍製預定厚度(dù)的(de)薄膜(mó),並且濺射鍍膜可以在(zài)較大(dà)的表麵上獲得厚度均勻的膜層;
2)、薄膜與基片(piàn)的附著力強。部分高能量的(de)濺射原子產生不同程度的注入現象,在基片上(shàng)形(xíng)成一層濺射原子與基片(piàn)原(yuán)子相互溶合的偽擴散層;
3)、製備特殊材料的(de)薄膜,可以使用不同的材料同(tóng)時濺射(shè)製備混合膜、化合膜,還可濺射成TiN仿金膜;
4)、膜(mó)層(céng)純度高,濺(jiàn)射膜層中不會混入(rù)坩(gān)鍋加(jiā)熱(rè)器材料的成份。
5 )、裝備低溫(wēn)離子(zǐ)輔助源,無(wú)需加熱直接常溫冷鍍(dù)成膜,節能省電,提高產能。
CJ係列(liè)磁控濺射真空鍍膜機 | | | | | |
型號 | CJ-600 | CJ-800 | CJ-1000 | CJ-1200 | CJ-1400 | CJ-1500 | CJ-1600 |
真空(kōng)室(shì)尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT400擴散泵機組 | KT500擴散泵機組 | KT800擴散泵機組 | KT630擴散泵機(jī)組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙(shuāng)KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 |
鍍膜係(xì)統 | 直流或(huò)中頻電源、鍍膜輔(fǔ)助離子(zǐ)專用電源 |
充氣係統 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量(liàng)計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 |
控製方式(shì) | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動(dòng)或全自(zì)動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 |
極限真空 | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa |
備注 | 以上設備參數僅做參考,具體均按(àn)客戶實際工藝要求設計訂做 |