SF係列(liè)電子束蒸發光學真空鍍膜機

日期(qī):2016-01-13 10:14:16 人氣(qì):25321
SF係列電子束蒸發光學真空鍍膜機

工作原理

電子束蒸發是將(jiāng)膜材(cái)放(fàng)入水(shuǐ)冷銅坩堝中,直接利用電子束加熱,使膜材中的原子或分子從表麵汽化逸出後入射(shè)到基片表麵凝結(jié)成膜。電子束蒸發比一(yī)般電阻加熱蒸發熱效率高、束(shù)流密度大、蒸發速度快,製成的薄膜純度高。

應用範圍

光學鍍膜設備可鍍製層數較多的短波通、長波通、增透膜、反射膜、濾光膜、分光膜、帶通(tōng)膜、介質膜、高反膜(mó)、彩色反射膜等各種膜(mó)係,能夠實現0-50層膜的膜係鍍膜(mó),也能(néng)滿足(zú)如汽車反(fǎn)光玻璃、、眼鏡片、光學鏡頭、冷光杯等產品的鍍膜要求。配置不同的蒸發源、電子槍和離子源及膜厚儀可鍍多種膜係,對金屬、氧化物、化合物及其(qí)他高熔點膜(mó)材皆可(kě)蒸鍍

產品(pǐn)特點

1)  光學鍍膜配備有石(shí)英晶體膜厚(hòu)儀,采用(yòng)PLC與觸摸(mō)屏係統聯合實現對整個工作過程的自動控製(zhì),工作(zuò)效率和產品(pǐn)質量重複性一致性優良.
2)適用於光學領域行(háng)業,大規模工業生產要求的廠商(shāng)使用。

技術參數表(biǎo)

SF係列電子束蒸發光學真空鍍膜機    
型號SF-800SF-1200SF-1400SF-1600SFW-1000SFW-1200SFW-1600
真空(kōng)室尺寸 Φ800×1000MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1600×1800MMΦ1000×1100MMΦ1200×1400MMΦ1600×1800MM
真(zhēn)空機組KT500擴散泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組KT500擴散泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組
鍍膜係統電子槍蒸發源、鍍膜輔助離子專用電源或霍爾離子(zǐ)源
充氣(qì)係統(tǒng)壓強控製儀
控製(zhì)方式手動(dòng)或半自動
膜厚監控(kòng)係(xì)統石英晶體膜厚監控(kòng)係統
抽氣速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極限真空3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa
備注以上設備參數僅做(zuò)參考(kǎo),具體均按(àn)客戶實際工藝要求設計(jì)訂(dìng)做
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