GSF係列高精密電子束蒸(zhēng)發光學真空(kōng)鍍膜機
日期:2016-01-13 10:18:51 人氣:27064
GSF高精密電子束蒸發光學真空鍍膜機的(de)工作原理是將膜材放入水冷銅坩(gān)堝中,直接利用(yòng)電子束加(jiā)熱,使膜材中的原子或分(fèn)子從表麵(miàn)汽(qì)化逸(yì)出(chū)後入射到基片表麵凝結成(chéng)膜。電子束蒸發比一般(bān)電阻加熱蒸發熱效率(lǜ)高、束流密度大、蒸發速度快,製成的薄膜純度高。
光學鍍(dù)膜設備可鍍製層(céng)數較多的(de)短波通、長波通、增透膜、反(fǎn)射膜、濾光膜、分光膜、帶通膜、介質膜、高反膜、彩色反射膜等各(gè)種膜係,能夠實現0-90層膜的膜係鍍(dù)膜,也能(néng)滿足如汽車反光玻璃、望遠鏡、眼鏡片、光學鏡頭、冷光杯等產品的(de)鍍膜要求。配置不同的蒸(zhēng)發源、電子槍和離子源及膜厚儀可鍍多種膜係,對金屬、氧化物、化合物(wù)及其他高熔點(diǎn)膜材皆可蒸鍍。
1)、高精密光學鍍膜機配備有石英晶體膜厚儀、光學膜厚自(zì)動控製係統,采用PLC與工業電(diàn)腦(nǎo)配合自主研發的PY3100係統聯合(hé)實現對整個工(gōng)作過程的全自動(dòng)控製,可以實現無(wú)人值守,從而提高了工作效(xiào)率和保證產品質量的一致性和穩定性(xìng)。
2)、大抽速真空係統加配深冷裝置,優秀的動態(tài)真空能(néng)力,為複雜的光學膜係製備提供了必要的真空條件保障(zhàng)。
3)、蒸發分布穩定、性能可靠的E型電子槍(qiāng),優化設計(jì)的蒸發源與工(gōng)件架之間的位(wèi)置關係,為精(jīng)密膜係的實(shí)現調工了(le)膜料蒸發分(fèn)布方(fāng)麵的保障。
4)、平穩而高速旋轉的(de)工件(jiàn)架(jià)轉動係統,使工(gōng)件架內外圈產(chǎn)品光譜曲(qǔ)線更趨於一致。
5)、適用於(yú)光學領域行業,大規模(mó)工業生產(chǎn)高(gāo)端(duān)要求(qiú)的廠商使用。
GSF高精密電子束蒸發光學真空鍍膜機(jī) |
型號 | GSF-800 | GSF-1200 | GSF-1400 | GSF-1600 | GSFW-1000 | GSFW-1200 | GSFW-1600 |
真空室尺寸 | Φ800×1000MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1600×1800MM | Φ1000×1100MM | Φ1200×1400MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT400擴散泵機組 | KT630擴散泵機(jī)組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵(bèng)機組 | KT500擴散泵機組(zǔ) | KT630擴散泵機組(zǔ) | 雙KT630擴散泵機組 |
鍍膜係統 | 電子(zǐ)槍蒸發源、鍍膜(mó)輔助離子(zǐ)專用電源或霍爾離子源 |
充氣(qì)係(xì)統 | 壓強控製儀 |
控製方式 | 半自(zì)動或全自動 |
膜厚監控係(xì)統(tǒng) | 石英晶體膜厚監控係統、光學膜厚(hòu)監控(kòng)係(xì)統 |
抽氣(qì)速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空 | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa |
備注(zhù) | 以上設備參數僅做參考,具體(tǐ)均按客(kè)戶實際工藝要求設計訂做 |