真空鍍(dù)膜機精(jīng)抽太慢的幾個原(yuán)因
作者: 來源: 日期:2017-05-12 16:38:58 人氣:40445
真空鍍膜機精抽太慢主要從(cóng)以下幾個方麵進行原因查找:
一、擴散泵(bèng)可能不太給力。
解決辦法:可以用電離(lí)規(guī)單接到(dào)擴散泵泵口,看擴散泵單抽能達到多少,要看抽的時間和極限,然後進行對比。
二、真空係(xì)統(tǒng)有(yǒu)微漏。
解(jiě)決辦(bàn)法:這就需要慢(màn)慢檢漏,看看保真(zhēn)空時間能不能達不達標。
三、箱體太髒,太髒放氣量就大了。
解決辦(bàn)法:清洗箱體
四、前級真空度不行,機械泵或機械泵加(jiā)羅茨泵的極限真空不行(háng)。
解決辦法:可以(yǐ)用電阻規單獨檢測前級管道。