彩色（sè）係膜層和常規色膜層區別就是C值和H值，所以可以說，黑色也是彩色係膜層。

鋯＋氮氣：黃綠調金黃色
鋯＋甲烷：深淺黑（hēi）色
鋯＋氧（yǎng）氣：白色、透明膜
鋯＋氮氣＋甲烷：金色、仿玫瑰金（jīn）

鉻＋甲烷：深淺黑色
鉻＋氮氣：淺黑色
鉻＋氮氣＋甲烷：銀灰色
鉻＋氧氣：輕黃色、紫色、綠色

SUS＋氧氣：紫色（sè）
SUS＋氮氣：藍色
SUS＋甲烷：亮黑色
SUS＋甲烷＋氮氣：藍黑色

矽＋氮氣：黑（hēi）色
矽＋氧氣（qì）：混濁白、透明膜
矽＋甲烷：黃色、綠色、藍色（sè）、黑色(靶材純度高（gāo）於（yú）99%僅（jǐn）能（néng）調黑色)

鈦＋氧氣：光學膜七彩截色，不多介紹都懂。
鈦＋甲烷：深淺黑色( DLC製備（bèi）不能達標（biāo）)
鈦＋氮（dàn）氣（qì）：仿金色、黃銅色、紫色、紅色
鈦＋氮氣＋甲烷：仿玫瑰（guī）金（jīn）、黑綠色、複古黃、棕色（sè）、紫色

鎢＋氮（dàn）氣：棕黃（huáng）色（sè）
鎢＋甲烷：深淺黑色
鎢＋氧氣：紫色，鮮（xiān）黃色，棕色，藍色

以上僅裝飾薄膜常用材料及其常用氣體，通常甲烷（wán）和乙炔都可互替，但涉及部（bù）分顏色（sè）甲烷效果更好。

下一（yī）個：磁控濺射過程中常見問題（tí）的解決方案