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現代(dài)真空鍍膜機膜厚的測量及監(jiān)控方法

作者(zhě): 來源: 日期:2016-01-12 16:12:17 人氣:113612
    最直接的鍍膜控製方法是(shì)石英晶體(tǐ)微量平衡法(QCM),這種儀器可以直接驅動蒸發源,通過PID控製循環驅(qū)動擋板(bǎn),保持蒸發(fā)速率。隻(zhī)要將儀器與係統控製軟件相連(lián)接(jiē),它就可以控製整個的鍍膜過程。但是(QCM)的精確(què)度是有(yǒu)限的,部分原因是由於它監控的是被(bèi)鍍膜的質量而不是其光學厚度。
    此外雖然QCM在較低溫度下非常穩定,但溫度較高時,它(tā)會變得對溫度非(fēi)常敏感。在長時間的(de)加熱過程中,很難阻止傳感器跌入(rù)這個敏感區域,從而對(duì)膜層造成重大誤差。
    光學監控是高精密鍍膜的的首選監控方式,這是因為它可以更(gèng)精確地控製膜層厚度(如(rú)果運(yùn)用得當)。精確度的改進源於很多因素,但最根本的原(yuán)因是對(duì)光學厚度的監(jiān)控。
    OPTIMAL SWA-I-05單波長光學監控係統,是采(cǎi)用間接(jiē)測控,結合汪博士開(kāi)發的先進光學(xué)監控軟件,有效提高光學反應對膜厚度變化靈敏度的理(lǐ)論(lùn)和方法來減少終極誤差,提供了反饋或傳(chuán)輸的選擇模式和大範圍的監測波長。特別適合於各種膜厚的鍍膜監控包括非規整膜監控。
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