1)、固定筒3 圓筒形狀、大直徑、厚壁結構的設(shè)計和周向(xiàng)對(duì)稱(chēng)的固定方式,可保證其有足夠的強度和剛度(dù),同時,還(hái)可阻止高溫濺(jiàn)射磨料(liào)對其內部零部件汙染,保證撥動盤15 轉動的靈活性(xìng)。
2)、圓形(xíng)軸承座2 的設計,保證軸承座安(ān)裝的密封性和垂直度;增大軸(zhóu)1 的直徑尺寸,加大軸承座2 中兩軸(zhóu)承(chéng)的安裝間距,提高其自身的強度和剛度,保證轉動過程中軸1 的剛度和撥動盤15的旋(xuán)轉靈活性、位置重複(fù)的一致性。
3)、裝載換位機構(gòu),通過擴大支承盤16 的直徑(jìng),使該機構在平麵方向的有(yǒu)效麵積增大,可安裝直徑大(Φ26.5mm)的比較片,有利於光路調整,提高光學薄(báo)膜質量;比較片12 由單片玻(bō)璃(lí)作為一個比較(jiào)片單元(yuán),比較片采用空間立體(tǐ)疊(dié)加(jiā)安裝方式,多片玻璃疊加安裝在(zài)一個比較片存儲筒13 內,實現一次可放置50~100 片比較片,解決
鍍膜機鍍製多層精密光(guāng)學(xué)薄膜,比較片數量少影響(xiǎng)鍍膜層數和精度的(de)問題。
4)、定位(wèi)盤6 與槽型光(guāng)藕17 的配合,通過槽(cáo)型光(guāng)藕來感知(zhī)定位盤上三個均分(fèn)的120°狹縫,控製電機轉動停(tíng)止。軸1 旋轉定(dìng)位重複(fù)的一致性得到保證,帶動撥動盤15 完成準確的撥片動作。
5)、 轉動密封饋入機構引入威(wēi)爾遜密封機(jī)構(gòu)5,既保證電機9 通過齒輪(lún)齧合帶動軸(zhóu)1 的靈活(huó)轉動,又保證真空室對外部的密封作用。優化設計的真空(kōng)鍍(dù)膜機多片式比較片(piàn)裝置,其特點:(1)結構簡單,強度高,可(kě)靠性好;(2)比較片裝載數量大,生產效率(lǜ)提高,可鍍製超多層精密光學薄膜;(3)比較(jiào)片直徑增大,提高薄膜監控的精度,降低對硬件係統的要(yào)求,係統容易(yì)實現自動控製(zhì);(4)維護保養費用低。
通過對真空鍍膜機多(duō)片式比較片(piàn)裝置的優化設計,保證了比較片機構撥片轉動的靈活性和重複的一致性,解決了比較片有效麵積小,光路調整不(bú)方(fāng)便,光信號信噪比差的問題,又解決了比較片裝載數量少(shǎo)的問題,可以(yǐ)使現有的真空鍍膜機鍍製光學薄膜的質量大(dà)大提高,並且30 層(céng)以上的光學薄膜得以鍍製完成。實踐證明此比較片結構是有(yǒu)用的,可(kě)以在現代(dài)的光(guāng)學真空鍍膜行業進行推廣和實施(shī),