為（wéi）盡量減小真空鍍膜機真空室形變帶（dài）來的影響，我們將導軌、絲杆等傳動件固定於一個剛性（xìng）的中間層上，其與（yǔ）真空室底壁之間采（cǎi）用點、線、麵活性支（zhī）撐，以吸（xī）收和隔離形變，並設置形變補償調節機（jī）構，在係統抽真空前，參照有限元計算提供的（de）理論數據預設適當的補償量，以使其在真空（kōng）狀態下達到平衡。而這樣（yàng）的（de）真空設計也使得現在的真空鍍膜機就能（néng）夠讓鍍膜在真空環境下（xià）正常進行，防止外界因素的影響。
    而為了驗證有限元計算（suàn）的結果，對真空室的（de）形變和補償進行了測試。首先將（jiāng）四隻千分表定位在工作台安裝基點的真空壁外側，當真空室由大（dà）氣抽（chōu）到真空時，記錄各千分表的變化量，經歸一化處（chù）理後為用激光自準直儀調整（zhěng）形變補償。由水平調整的自準直儀發出一束激光穿過真空室的玻璃（lí）窗照射固（gù）定於（yú）工作台上的反射鏡，在大氣環境下調整形變補償調節機構，使反射光束進入自（zì）準直儀接收視場，記（jì）錄兩維角度偏差。這些數據之後需要對其進行分析處理，得到測（cè）試結果。

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