1、真空鍍膜設備每完成200個（gè）鍍膜程序以上，應清潔工作室一次。方法是:用燒堿(NaOH)飽和溶液反複擦洗（xǐ）真空室內壁，( 注意人體皮膚不可以直接接觸燒堿溶液，以（yǐ）免灼傷（shāng）)目的是使（shǐ）鍍上去的膜（mó）料鋁(AL)與NaOH發生反（fǎn）應，反應後膜層脫落，並釋放出（chū）氫氣。再用清水清洗真空室和用布沾汽（qì）油清洗精抽閥內的汙垢。
2、當粗抽泵(滑閥泵，旋片泵)連續工作一個月(雨季減半)，需（xū）更換（huàn）新油。方法是:擰開放油螺栓，放（fàng）掉舊（jiù）油，再將（jiāng）泵啟動數秒，使泵內的舊油完全排放出來。擰回放油螺（luó）栓，加入（rù）新油至額（é）定量(油視（shì）鏡觀察)。連續使（shǐ）用半年以上，換油時（shí）應將油蓋打開，用布擦幹淨箱內汙垢。
3、擴散泵連續使（shǐ）用（yòng）6個月以上，抽速明顯變慢，或操作失當，充入大氣，拆去聯結水管，卸下電爐盤，將（jiāng）一級噴嘴擰出，先用汽（qì）油（yóu）將泵腔及泵膽清洗一遍，再用洗衣粉兌水清（qīng）洗（xǐ）一遍，然後用清水徹底清（qīng）洗幹淨，待水份揮發幹以後，裝好泵膽，加入新擴散泵油，並裝回機體，接好水管，裝好電爐盤，便可以重新開機。在重新開機前，要注意檢漏工作。方法是:啟動維（wéi）持泵，關好大門，數分鍾後，觀察擴散泵部分（fèn）真空度是否（fǒu）達到6X10帕（pà），否則要進行檢漏。檢查聯接（jiē）處（chù）是否裝密封膠圈，或壓壞密封圈。排除漏（lòu）氣隱患（huàn）後方可加熱，否則擴散泵油會燒環，無法進入工作狀（zhuàng）態（tài）。

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