真空鍍膜機是目（mù）前製作真空條件（jiàn）應（yīng）用最為廣泛的真空設備，一般用真空室、真空機組、電氣控製櫃三大部分組成，排氣係統采用擴散泵+機械泵＋羅茨泵＋低溫冷阱＋polycold組成。
下麵，詳細介（jiè）紹真空鍍（dù）膜機的各（gè）部（bù）分組成（chéng）及其工作原理：
1、真空主體：真空腔根（gēn）據加工產品要求（qiú）的各異，真空腔的（de）大小也不一（yī）樣，目前應（yīng）用最多的有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等，腔體由不鏽鋼材料製作，要求不生鏽、堅實等，真空（kōng）腔各部（bù）分有連接閥（fá），用來連接各抽氣泵浦。　　
2、輔（fǔ）助抽氣係統（tǒng）：排氣係（xì）統為鍍膜機真空（kōng）係（xì）統的重要部分（fèn），主要有由機（jī）械泵、增壓泵（主要介紹羅茨泵）、油擴散泵三大部分（fèn）組成。此（cǐ）排氣係統采用"擴散泵+機械（xiè）泵＋羅茨泵＋低溫冷阱＋polycold"組成。排氣流程為（wéi）：機（jī）械泵先將真空腔抽至小於2.0*10-2PA左右的低真空狀態，為擴散泵後繼抽（chōu）真（zhēn）空提供前提，之後當擴散（sàn）泵抽真空腔的時候，機械泵又配合油擴散泵組成串聯，以這（zhè）樣的方式完成抽氣動作。　
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