低真空的獲得  

獲得（dé）低真空常采用機械泵，機械泵（bèng）是運用機械方法不斷地改變泵內吸氣空腔的（de）體積，使被抽容器內氣體的體積不斷膨脹，從而獲得真空的裝（zhuāng）置（zhì）。

它可以直接在大氣壓下（xià）開始工作，極限真空度一般為1.33-1.33x10-2pa, 抽氣速率與轉速及空腔（qiāng）體積V的大小有關，一般在（zài）每秒幾升到每秒幾十升之（zhī）間。

高真空的獲得 

目前，廣泛使用的獲得高真空的泵就是擴散泵。擴散泵是（shì）利用氣（qì）體擴散現象來抽氣的，它不能直接在大氣壓下工作，而需要一定的預（yù）備真空度（1.33-0.133Pa）。

油擴散泵的極限（xiàn）真空度主要取決於油蒸汽壓和氣體分子的反擴散，一（yī）般能達到1.33x10-5---1.33x10-7pa。 抽氣速率與結構相關，每秒幾升--幾百升不等。