質量流量計，即（jí）MASS FLOW METER(縮寫為MFM),是一種精確測（cè）量氣體流量的儀表，

其測量值不因溫度或壓力的波動而失準，不需要溫度壓力補償。

質量流量控製（zhì）器，即Mass flow controller(縮寫（xiě）為MFC），不但具有（yǒu）質量流量計的功（gōng）能，

更重要的（de）是，它能自動控製氣體流量，即（jí）用戶可根據需要進行流量設定，MFC自動地將流量恒定在設定值上，

即使係統壓力有波動或環境溫度有（yǒu）變化（huà），也不會使其偏離設定值。

簡單地說，質量流量（liàng）控製器就是一個穩定裝置，是一個可以（yǐ）手（shǒu）動（dòng）設定或與計算機聯接自動控製的（de）氣體穩流裝置。