對於(yú)真空鍍膜機設備的(de)分類(lèi),到底了解多少?
真空鍍(dù)膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜設備,包括真空(kōng)離子蒸發鍍膜機、磁控濺鍍膜機射(shè)、
MBE分子束外延鍍膜機和PLD激光濺射沉積鍍膜機等很多種。
主(zhǔ)要是(shì)分成蒸發和濺射兩種(zhǒng)。
在真空鍍膜設(shè)備(bèi)中需要鍍膜的被成為基片,鍍的材(cái)料被成為靶材。
基片與(yǔ)靶材同在真(zhēn)空腔中。
蒸發鍍(dù)膜一般是加熱靶材使表麵組分以原(yuán)子團(tuán)或離子形式被蒸發出來,並且沉降在(zài)基片表麵,通過成膜過程(chéng)形成薄膜。
真空鍍膜機對於濺射類鍍膜,可以簡單理解為利(lì)用電子(zǐ)或高能激光(guāng)轟擊靶材,並使(shǐ)表麵組分以原子團或離子(zǐ)形式被濺射出來,
並且最終沉積在基片表麵,經曆成膜過程(chéng),最終(zhōng)形成薄(báo)膜。爐體(tǐ)可選擇由不鏽鋼、碳鋼或(huò)它們的組合製成的雙層水冷結構。
根據工藝要求選擇不同規格及類型鍍(dù)膜(mó)設備,其類型有電阻蒸發真空鍍膜設備(bèi)、電子束蒸發真空鍍膜設備、
磁控濺射(shè)真空鍍膜(mó)設備、離子鍍真空鍍膜(mó)設備、磁控反應濺射真空鍍膜設備、空心陰極離子鍍和(hé)多弧離子鍍等。
夾具運轉形式(shì)有(yǒu)自轉、公轉及(jí)公轉+自轉方式,用戶可根(gēn)據片尺寸及形狀提出(chū)相應要(yào)求,轉動的(de)速度範(fàn)圍(wéi)及轉動精度:普通可調及變頻調速等。