真空蒸鍍、濺鍍、離子鍍
真空鍍(dù)主(zhǔ)要包括真空(kōng)蒸鍍、濺射(shè)鍍和離(lí)子鍍幾種類型,它們都是采用在(zài)真空條(tiáo)件下,通過蒸餾(liú)或濺射等方式在塑件表麵沉積各種金屬和(hé)非(fēi)金屬薄(báo)膜(mó),通過這樣的方式可以得到(dào)非(fēi)常薄的表麵鍍(dù)層,同時具有速度快(kuài)附著(zhe)力好(hǎo)的突出優點,但是價格也較高,可以進行操作的金屬類型較少,一般用來作較高檔(dàng)產品的功能性鍍層。
真空蒸鍍法(fǎ)是在高真空下為金屬加熱,使其熔融、蒸發,冷卻後在樣品表麵形成金屬薄膜的方法(fǎ),鍍層厚度為0.8-1.2um。將成形品表麵的微小凹凸部(bù)分填平,以獲得如鏡麵一樣的表麵,無任是為了得到反射鏡作用而實施真空蒸鍍,還是對密接性較低的(de)奪鋼進行真空蒸鍍(dù)時,都必須進行(háng)底(dǐ)麵(miàn)塗布處理。
濺鍍通常指的是磁控濺鍍,屬於高速低溫濺(jiàn)鍍法。該工藝要求真空(kōng)度在1×10-3Torr左右,即1.3×10-3Pa的真空狀態充入惰性氣體氬(yà)氣(Ar),並(bìng)在塑膠基材(cái)(陽極)和金屬靶材(cái)(陰極)之(zhī)間加上高壓直流電,由於輝(huī)光(guāng)放(fàng)電(glow discharge)產生的電子激發惰性氣體,產生等離子體,等離子體將金屬靶材的原子轟出,沉積在塑膠基材上。一般金屬鍍膜大都采用直流濺(jiàn)鍍,而不導電的陶磁材料則使用RF交流濺(jiàn)鍍。
離子鍍是在真空條件下,利用氣體放電使氣體或被蒸發物質部分電離,並在氣體離子或被蒸(zhēng)發物質離子的轟擊下,將蒸發(fā)物質或其反應物沉積在基片上的方法。其中(zhōng)包括磁控濺射離子鍍(dù)、反(fǎn)應(yīng)離(lí)子鍍、空心陰極放電(diàn)離子鍍(空心陰極蒸鍍法)、多弧離子鍍(陰極電(diàn)弧離子鍍)等。