1、設備接地必須可靠，並經常檢查接地裝（zhuāng）置導電作用。
2、擴散泵和油增壓泵加熱前必須接（jiē）通冷卻水，泵停止工作（zuò），但泵內示冷卻至80攝氏度以下時，不得切斷冷卻（què）水，以防止（zhǐ）泵芯燒毀。
3、擴散泵和油增壓泵在加熱情況下，切勿與大氣（qì）接觸，以免（miǎn）泵油（yóu）氧化。
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3、擴散泵和油增壓泵在加熱情況下，切勿與大氣（qì）接觸，以免（miǎn）泵油（yóu）氧化。