真空鍍膜機是目前製作真空條件應用最為廣（guǎng）泛的真空設備，一般用真空室（shì）、真空機組、電氣控製櫃三大（dà）工作原理。

真（zhēn）空主題--真空腔根據加工產品要求的各異，真空腔的大小也不一樣，目前應用最多（duō）的有（yǒu）直徑0.9M、1.3M，1.5M、1.8M等，腔體由不鏽鋼（gāng）材料（liào）製作，要求不（bú）生鏽、堅實等，真空（kōng）腔各部分有鏈接閥，用來鏈接各抽氣（qì）泵浦。

輔助抽氣係統：排氣係（xì）統為鍍膜機真空係統的重要部分，主要有由機（jī）械（xiè）泵、增壓（yā）泵（主要介紹羅（luó）茨（cí）泵）、油擴散泵三大部分組成，此排氣係統采用“擴散泵（bèng）+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold組成”。

排氣流程為：機械泵先將真空腔抽（chōu）至（zhì）2.0*10-2pa左右的低真空狀態，為擴（kuò）散泵後續抽（chōu）真空提供前提，之後當擴散泵抽真空的時候，機械泵又配合油擴散泵組成串聯，已這樣的方（fāng）式完（wán）成抽氣（qì）動作。

 機械泵：也叫前級泵，機械泵是應用最廣泛（fàn）的一種低真空泵，它是用油來保持密封效果並依靠機械的方法（fǎ）不斷的改變泵（bèng）內吸氣空腔的體積，使被抽容（róng）器內（nèi）氣體的體（tǐ）積不斷膨脹從而獲得真（zhēn）空。