通俗的（de）定義為在正常狀況下（xià），其應用功能不會失效。

想要（yào）達到這個目的，一般而言這層薄膜必須具有堅牢的附著力、很低的內應力、針孔密度很少、夠強的機械性能（néng）、均勻的膜厚、以及足夠的抗化學侵蝕性。

薄膜的特性主要受到沉積過程、成膜條件、接口層的形成和基材的影響，隨（suí）後的熱處理（lǐ）亦（yì）扮演重要角色。 

沉積的薄膜（mó）有內應（yīng）力的（de）存在，其來源為何? 

薄膜和基材之間的晶格失配 

薄膜和基材之間的熱膨（péng）脹係數差異 

晶界之（zhī）間的互擠