物理蒸鍍就是把物質加熱揮發，然後將其蒸（zhēng）氣沉積在預定的基材上。由於蒸發源須加熱揮發，又是在真空中進行，故亦（yì）稱為熱蒸鍍或真空蒸鍍。

其可分（fèn）為三個（gè）步驟: 

(1)凝態的物質被加（jiā）熱揮發成汽相  
(2)蒸汽在具空中移動一段距離至基材 
(3)蒸汽在基材上冷卻凝結（jié）成薄膜