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磁控濺射膜(mó)厚均勻性設計方法

作者: 來源: 日期:2020-11-09 10:56:38 人(rén)氣:22383

磁(cí)控濺射鍍膜是現代工業中不可缺(quē)少的技術之一,磁控濺射鍍膜技術正廣泛應用於透明導電膜(mó)、光學膜、超硬膜、

抗腐蝕膜、磁性膜(mó)、增透(tòu)膜、減反膜以及(jí)各種裝飾膜,在國(guó)防和國民經濟生產(chǎn)中的作用和地位日益強大。


鍍膜工藝中的薄膜厚度均(jun1)勻性,沉積速率,靶材利(lì)用率等方(fāng)麵的問題是實際生產中十分關注(zhù)的。
解決這些實際問題的方法(fǎ)是對涉及濺射沉積過程的全部因素進行整體(tǐ)的優化設計,建立一個濺(jiàn)射鍍膜的綜合設計係統(tǒng)。
薄膜厚(hòu)度均勻性是檢驗濺射沉積過程的最重要參數之一,因此對膜厚均勻性綜合設計的研究具有重要的理論和(hé)應用價值。

磁控濺射技術發展過程中各項技(jì)術的突破(pò)一般集中在(zài)等離子體的產生以及(jí)對等(děng)離子體進行的(de)控製等方麵。

通過對電(diàn)磁場、溫度場和空間不同種類粒子分布參數的控製,使膜層質量和屬性滿足各行業的要求。


膜厚均勻性與磁控濺(jiàn)射靶(bǎ)的工作狀態息息相關,如靶的刻蝕狀態,靶的電磁場設計等(děng),

因此,為保證膜厚均勻性,國外的薄膜製(zhì)備公司或鍍膜設備製造公司都有(yǒu)各自的關於鍍膜設(shè)備(包括核心部件“靶”)的(de)整套設計(jì)方案。

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