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鍍膜工藝設計

作者: 來源: 日期:2020-11-23 11:28:29 人(rén)氣:12652

鍍膜工藝之設計應著(zhe)重考慮不同薄膜材料之間需(xū)要(yào)不同的沉積工藝,

不同(tóng)濺射技(jì)術的實施(直流、中頻、射頻、脈衝、反應濺射,以及它(tā)們之間的結合而發(fā)展的技術,或者新技術的(de)應用等),

同種技術不同工藝參數的調整(功(gōng)率,氣壓,沉積方式等),前處理(清(qīng)洗、預熱等(děng)),後處理(熱處理(lǐ)等(děng))。

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